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樣品檢測實例——微結構陣列晶圓片
欄目：企業新聞
發布時間：2022-12-14
樣品名稱：四英寸微結構陣列晶圓片
測試要求：表面三維形貌及尺寸測量
1. 樣品一，掃描范圍 40*40um
此處微結構陣列高度差約為 1.236nm
2、 樣品一，掃描范圍 20*20um
此處微結構陣列高度差約為 1.229nm