納米技術作為當前發展最迅速、研究最廣泛、投入最多的科學技術之一，被譽為21世紀的科學，并且和生物工程一起被認為是未來科技的兩大重要前沿。從納米技術的發展來看，激光干涉納米光刻技術、納米加工、納米測量技術，以及納米制造等，都有著不可忽視的地位和作用。

原子力顯微鏡（atomicforcemicroscope，簡稱AFM）是納米技術研究中最常用也是最基礎的一個儀器。它是利用微懸臂感受和放大懸臂上探針與受測樣品原子之間的作用力，從而達到檢測的目的，具有原子級的分辨率[1]。隨著人們對納米技術的深入研究以及對AFM的不斷開發，使原子力顯微鏡不僅僅具有檢測的功能，還可以實現對樣品的“推”、“拉”、“刻劃”、“切割”、“搬運”等功能，增大了AFM的使用范圍。其優勢在于操作過程不受環境影響，既可以在大氣環境下工作，也可以在液相下工作。這對人們在生物醫學等方面的研究工作，帶來了便利。

對于納米技術相關課程的基礎教學而言，AFM是學生們感知納米量級，實現簡單操作的最直接的方式之一。因此，本論文針對AFM的特點及納米技術相關教學的知識點，將AFM工作原理及實際掃描、操作后得到的圖片引入到課堂中進行輔助教學，取得了一定的效果，提升了學生們的學習興趣。

針對納米測量所涉及的兩個重要領域：納米長度測量和納米級的表面輪廓測量。列舉了AFM掃描的利用多光束激光干涉光刻制備單晶硅形貌圖。

觀測者不但可以直接看到被測樣品的表面形貌，還可以通過AFM二維圖像形成相應的三維像，從而獲得樣品表面結構的深度，大小以及長度等重要信息參數。

通過AFM對原子的操作及樣品形貌的掃描，可以讓學生更為直觀的了解AFM以及納米技術的相關概念及原理。同時，清晰的掃描圖像可以進一步促進學生對納米技術相關教學課程內容的理解。

教學型原子力顯微鏡FM-Nanoview 800(T-AFM)

蘇州飛時曼精密儀器有限公司成立于2013年，坐落在美麗的蘇州高新區科技城，是一家起點高、前瞻性強的研發和制造型高科技企業。公司的核心研究方向為光、機、電、算一體化的微納米檢測設備、先進的醫療儀器。飛時曼作為國內自主品牌、原子力顯微鏡廠家，其主要產品有：原子力顯微鏡系列（多模式原子力顯微鏡 FM-Nanoview1000AFM、一體式原子力顯微鏡 FM-Nanoview6800AFM、拉曼原子力顯微鏡一體機 FM-NanoviewRa-AFM、光學原子力顯微鏡一體機 FM-NanoviewOp-AFM、教學型原子力顯微鏡 FM-Nanoview T-AFM、教學型掃描隧道顯微鏡 FM-NanoviewT-STM、工業型原子力顯微鏡 FM-NanoviewLS-AFM、拉曼光譜儀RM5000、拉曼光譜儀RM8000、拉曼光譜儀RM9000）。2015年，公司獲得江蘇省高新技術企業認證，擁有自主知識產權30多項，研發的多款產品被評為高新技術產品，并通過CE、ISO9001、SGS認證。